Thuật ngữ "Cơ Điện Tử" được đặt ra bởi Tetsuro Mori, kỹ sư cao cấp của công ty Yaskawa của Nhật Bản vào 12/07/1969. Từ Cơ Điện Tử đã được đăng ký làm thương hiệu bởi công ty ở Nhật Bản với số đăng ký 46-32714 vào năm 1971. Sau đó công ty đã phát hành quyền sử dụng từ này để công khai, từ đó từ này bắt đầu được sử dụng trên toàn thế giới. Ngày nay, từ này được dịch sang nhiều ngôn ngữ và từ này được coi là một thuật ngữ thiết yếu cho ngành công nghiệp.

“Thuật ngữ Mechatronics (Cơ điện tử) được tạo bởi Mecha trong Mechanics và tronics trong Electronics. Nói cách khác, các công nghệ và sản phẩm ngày càng được phát triển sẽ ngày càng được kết hợp chặt chẽ các thành phần điện tử vào trong các cơ cấu và rất khó có thể chỉ ra ranh giới giữa chúng.

Tiêu chuẩn của Pháp NF E 01-010 đưa ra định nghĩa sau: "Phương pháp tiếp cận nhằm tích hợp cơ học, điện tử, lý thuyết điều khiển và khoa học máy tính trong thiết kế và sản xuất sản phẩm, nhằm cải thiện và tối ưu hóa chức năng của chúng".

Năm 1995 W. Bolton đề xuất định nghĩa: “Một hệ cơ điện tử không chỉ là sự kết hợp chặt chẽ các hệ cơ khí điện và nó cũng không chỉ đơn thuần là một hệ điều

khiển, nó là sự tích hợp đầy đủ của tất cả các hệ trên.”

Một định nghĩa khác về cơ điện tử thường hay nói tới do F. Harshama, M. Tomizuka và T. Fuduka đưa ra năm 1996: “Cơ điện tử là sự tích hợp chặt chẽ của kỹ

thuật cơ khí với điện tử và điều khiển máy tính thông minh trong thiết kế chế tạo các

sản phẩm và qui trình công nghiệp.”